Módulo 14 de 16 · Texto
Frage 14
Erklären Sie das Prinzip einer Turbomolekularpumpe, einer Ionengetterpumpe,
einer Sublimationspumpe bzw. einer Diffusionspumpe!
ERGÄNZUNG: Weitere Vakuumpumpen
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Erklären Sie das Prinzip einer Turbomolekularpumpe, einer Ionengetterpumpe,
einer Sublimationspumpe bzw. einer Diffusionspumpe!
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