DISPOSITIVOS Y SISTEMASMICROELECTROMECÁNICOS Y SISTEMAS DE MANUFACTURA A NANOESCALA

DISPOSITIVOS Y SISTEMAS

MICROELECTROMECÁNICOS Y SISTEMAS DE MANUFACTURA A NANOESCALA

Dispositivo Micromecánico

Dispositivo o sistema Microelectromecánico.

Micromaquinado de los dispositivos MEMS

•MICROMAQUINADO VOLUMÉTRICO -•Fabricación de una viga en voladizo.

•MICROMAQUINADO DE SUPERFICIES -•El vidrio de fosfosilicato es el material más común para la capa espaciadora.

•SCREAM -Usa procesos estándar de litografía y ataque de grabado.

Proceso de microfabricación LIGA

LIGA es un acrónimo alemán del proceso combinado de litografía por rayos X, electrodeposición y moldeo.

•El PMMA se expone a rayos X en columnas y se desarrolla.

•Se electrodeposita metal en el sustrato principal.

Litografía de rayos X multicapas

Este proceso comprende la preparación de dos capas de PMMA modeladas y electroformadas.

HEXSIL

Combina estructuras de panal hexagonales, micromaquinado de silicio y deposición de una película delgada para producir estructuras que se soportan por sí mismas, con relación de aspecto elevada.

Fabricación sin materia sólida de dispositivos.

•De arriba hacia abajo (Top-down)

•De abajo hacia arriba. (Bottom-up)

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ENFOQUE

•La nanolitografía por inmersión en pluma también puede ser un enfoque de abajo hacia arriba, donde la tinta contiene el material utilizado para construir la estructura.

•La impresión de microcontacto utiliza enfoques de litografía suave, para depositar material en superficies desde las cuales se pueden producir estructuras a nanoescala.

•La microscopía de exploración de túneles se puede usar para manipular un átomo en una superficie atómicamente lisa (generalmente mica o cuarzo escindido).