Messverfahren-Rauheitsmessung

Oberflächenmessung - Taktile Messgeräte:

• direkte Berührung der Oberfläche der Probe, die vertikale Bewegung der Tasterspitze wird erkannt, Radius der Tasterspitze muss möglichst klein sein & Kontaktdruck gering, Taster bestehend aus Diamant oder Saphir; ideale Tasterform - Kegel mit Messkugel an der Spitze
• Nachteile: Verschleiß des Tasters, Kratzer auf der Oberfläche, für viskose Stoffe ungeeignet, zeitaufwändige Messung
• Vorteile: klares Wellenprofil, auch für Messungen mit großem Messabstand geeignet

Rasterkraftmikroskop:

• Die atomaren Kräfte zwischen Spitze und Probe werden gemessen, Sonde wird bis auf wenige Nanometer an die Probe herangeführt
• Nachteile: keine Messungen im breitem Bereich möglich, keine großen Proben möglich weil Vorbehandlung nötig ist, schwer bedienbar

Autofokussensor (siehe Optik)

Weißlichtinterferometer:

•  Die Lichtinterferenz zweier Strahlen wird ausgewertet
• Der durch eine Wolframhologen Lampe erzeugte Lichtstrahl wird von einem Strahlteiler in zwei Teilstrahlen aufgeteilt, ein Teilstrahl trifft auf die Oberfläche des Messobjektes während der andere Teilstrahl auf einen Referenzspiegel gelenkt wird, An beiden Oberflächen wird der Strahl reflektiert, zur Interferenz gebracht und von einem Mikroskop analysiert
• Der optische Pfad vom Referenzspiegel zum CCD Element und des Messobjektes zum CCD Element sind grundsätzlich gleich lang aber durch die Rauheit des Messobjektes werden die Pfade ungleichmäßig und es kommt zu einem Interferenzmuster
• Vorteile: schnelle Messung, breites Bildfeld ermöglicht Messungen im Sub-Nanometer-Bereich
• Nachteile: eingeschränkte Winkeleigenschaften, Neigungskorrektur erforderlich, empfindlich für Vibration

Konfokal Chromatisches Prinzip:

• spektral breitbandige Lichtquelle, chromatische Aufspaltung der Brennweite, Faserende als konfokale Blende, Spektralanalyse des reflektirten Lichtes maximaler Peak im Spektrum führt auf Oberflächenhöhe, kein mechanischer Tiefenscan erforderlich

3D-Laserscanning-Mikroskop:

• keine Vorbehandlung des Materials nötig, vielseitig einsetzbar, einfach zu bedienen